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覆层无损检测方法
有关覆层无损检查办法,主要有:楔切法、光截法、电解法、厚度差检查法、称重法、X射线莹光法、β射线反射法、电容法、磁性检查法及涡流检查法等。这些办法中除了后五种外大多都要损坏产品或产品表面,系有损检查,检查手段繁琐,速度慢,多适用于抽样检验。X射线和β射线反射法可以无接触无损检查,但装置复杂昂贵,检查范围小。因有放射源,故使用者必须遵守射线防护规范,一般多用于各层金属镀层的厚度检查。电容法一般仅在很薄导电体的绝缘覆层厚度测试上应用。磁性检查法及涡流检查法,随着技术的日益进步,特别是近年来引入微处理机技术后,测厚仪向微型、智能型、多功能、高精度、实用化方面迈进了一大步。检查的分辨率已达0.1μm,精度可达到1%。又有适用范围广,量程宽、操作简便、价廉等特点。是工业和科研使用最广泛的仪器。采用无损检查办法测厚既不破坏覆层也不破坏基材,检查速度快,故能使大量的检查工作经济地进行。我金硕特公司现对以下分别介绍几种常规测厚的办法分别介绍。
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